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CUST P/N LineDescription SLA5850 Mass Flow Controller H2 300 SCCM REF P/N Base Model SLA5850 REV B Mass Flow Controller Max Press 1500 psig [103 BAR] Max Temperature 149F [65C] Temperature 50C Meter Material 316L SS Valve Type NC Valve Seat Viton O-Ring Viton Elect Conn 15-pin D-Conn Proc Conn Sz 1/4-in Conn Type Comp Fs Flow Rate 300 SCCM Gas H2 Inl Pressure 10 psig Out Pressure 0 psia Cal Ref Temp 0C Input Signal 0-5V Output Sig 0-5V Comm Smart Emulation Baudrate 19200 OutputEnh Std Response PwrSplyIn 24 Vdc Cert Safe Area Mtg Att [1] Horizontal base down Calibration [B] Standard Calibration Oem Cust Standard Brooks label Orifice Size 0.0055 Restrictor Type Sintered Restrictor Size Size code P N2 E. Gas Factor 1.008 N2_EQ 0.297619 NLPM CRN Province N/A RT Aux Input N/A Viscosity 0.0094 Density 0.0001 GM/CC Specific Heat 14.3425 J/g K Filter None Filter Model No Additional Services No Tag
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