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CUST P/N LineDescription SLA5850 AIR 20 SLPM REF P/N SPECIAL Base Model SLA5850 REV B Max Press 1500 psig [103 BAR] Max Temperature 149F [65C] Temperature 20C Meter Material 316L SS Valve Type NC Valve Seat Viton O-Ring Viton Elect Conn 2x RJ45 Signal, 1x 5pin M8 Power Proc Conn Sz 1/4-in Conn Type BSP Fs Flow Rate 20 SLPM Gas AIR Inl Pressure 6 barg Out Pressure 5 barg Cal Ref Temp 0C Input Signal Digital Output Sig Digital Comm EtherNet/IP Baudrate N/A OutputEnh Std Response PwrSplyIn 24 Vdc Cert Safe Area Mtg Att [1] Horizontal base down Calibration [B] Single Oem Cust Standard Brooks label Orifice Size 0.048 Restrictor Type ACLFE/Wiremesh Restrictor Size Size code 4 N2 E. Gas Factor 0.998 N2_EQ 20.04008 NLPM CRN Province N/A Viscosity 0.0184 Density 0.0083 GM/CC Specific Heat 1.0083 J/g K Filter None Filter Model No Additional Services No Tag
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